No/VOL: 10b/2012 Page no. 117
Authors: Jacek Gołębiowski , Bartłomiej Guzowski , Szymon Milcarz :
Title: Zastosowanie światłowodowych czujników odbiciowych do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS
Abstract: Pokazano konstrukcję natężeniowego światłowodowego czujnika odbiciowego do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS. Przedstawiono system pomiarowy oraz wyniki pomiarów. Analizowano wpływ konstrukcji i parametrów czujnika oraz układu pomiarowego na charakterystyki wyjściowe ze szczególnym uwzględnieniem zmian współczynnika odbicia.
Key words: czujniki światłowodowe odbiciowe, pomiar przemieszczeń, układy optoelektroniczne, MEMS