Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page

Numer: 05/2018 Str. 196

Autorzy: Valentina Gorushko , Anna Omelchenko , Vladimir Pilipenko , Vitali Solodukha , Marek Opielak , Paweł Żukowski , Tomasz Koltunowicz :

Tytuł: Rekrystalizacja krzemu podczas szybkiej obróbki termicznej

Streszczenie: Dzięki użyciu spektroskopii Augera, elipsometrii spektralnej oraz dyfrakcji rentgenowskiej po raz pierwszy przedstawiona została możliwość zastosowania szybkiego termicznego usuwania uszkodzonej warstwy na powierzchni roboczej wafli silikonowych, powstałych po chemiczno-mechanicznym polerowaniu, za pośrednictwem jego rekrystalizacji w fazie stałej.

Słowa kluczowe: uszkodzona warstwa, szybka obróbka termiczna, rekrystalizacja, wafel krzemowy.

wstecz